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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0060758 (2017-05-17) | |
| 공개번호 | 10-2018-0126142 (2018-11-27) | |
| 등록번호 | 10-2081622-0000 (2020-02-20) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170060758 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2017-05-17) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은, AlN 분말, 소결조제 및 우레아(Urea)를 혼합하는 단계 및 혼합된 결과물을 가압소결하는 단계를 포함하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 질화알루미늄 소결체에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, AlN에 함유된 불순물인 Al2O3를 감소시킬 수가 있고, 고온에서 캐리어(carrier)로 작용하는 Al 공공(vacancy)의 감소를 유도하여 고온에서 높은 비저항을 가지며, 밀도가 높으면서 고온에서 높은 체적저항을 갖는 질화알루미늄 소결체를 제조할 수 있다.
(a) AlN 분말, 소결조제, SrCO3, HfO2 및 우레아(Urea)를 혼합하는 단계; 및(b) 혼합된 결과물을 가압소결하는 단계를 포함하며,상기 가압소결은,상기 우레아(Urea)를 열분해시키기 위하여 1350∼1550℃의 제1 온도까지 승온하는 단계;상기 제1 온도에서 유지하는 단계; 상기 제1 온도보다 높은 1650∼1900℃의 제2 온도까지 승온하는 단계; 상기 제2 온도에서 유지하면서 가압하여 소결하는 단계;상기 제2 온도보다 낮은 1350∼1550℃의 제3 온도로 냉각하는 단계; 및상기 제3 온도에서 유지하는 단계를
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