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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0086567 (2017-07-07) | |
공개번호 | 10-2019-0005628 (2019-01-16) | |
등록번호 | 10-2053400-0000 (2019-12-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170086567 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-07-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다수의 마그넷들을 갖는 마그넷 어레이(magnet array) 및 상기 다수의 마그넷들에 인접한 자속 블록(magnetic flux block)을 포함하며, 상기 마그넷 어레이 및 상기 자속 블록은 스퍼터링 타겟(sputtering target)의 일면에 배치되고, 상기 스퍼터링 타겟은 기판 및 상기 마그넷 어레이 사이에 정렬되는 스퍼터링 장치를 개시한다.
다수의 마그넷들을 갖는 마그넷 어레이(magnet array) 및상기 다수의 마그넷들에 인접한 자속 블록(magnetic flux block)을 포함하며,상기 자속 블록은 상기 다수의 마그넷들 사이에 형성된 격벽 및 상기 마그넷 어레이의 외측에 형성된 외벽을 포함하며,상기 격벽 및 상기 외벽은 스퍼터링 타겟을 향하여 상기 마그넷보다 돌출되도록 형성되며,상기 격벽 및 상기 외벽과 상기 스퍼터링 타겟 사이의 간격은 상기 마그넷들 및 상기 스퍼터링 타겟 사이의 간격보다 좁으며,상기 마그넷 어레이 및 상기 자속 블록은 스퍼터링 타겟(spu
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