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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0088267 (2017-07-12) | |
공개번호 | 10-2019-0007547 (2019-01-23) | |
등록번호 | 10-2019854-0000 (2019-09-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170088267 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-07-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전 척 리페어 방법에 관한 기술이다. 본 발명의 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 척 리페어 방법은, 제 1 플레이트, 전극 및 제 2 플레이트가 순차적으로 적층되어 구성되는 정전 척 구조체를 제공한다. 상기 제 2 플레이트의 일부를 제거하여, 상기 전극을 노출시킨다. 이후, 교체 전극을 구비한 교체 플레이트를, 상기 교체 전극과 상기 전극이 전기적으로 연결되도록, 상기 정전 척 구조체에 합착한다.
제 1 플레이트, 전극 및 제 2 플레이트가 순차적으로 적층되어 구성되는 정전 척 구조체를 제공하는 단계;상기 제 2 플레이트의 일부를 제거하여, 상기 전극을 노출시키는 단계; 및교체 전극을 구비한 교체 플레이트를 준비하여, 상기 교체 전극과 노출된 상기 전극이 전기적으로 연결되도록, 상기 정전 척 구조체 상에 상기 교체 플레이트를 합착시키는 단계를 포함하며,상기 교체 플레이트와 상기 정전 척 구조체를 합착하는 단계는, 상기 노출된 전극과 상기 교체 전극 사이의 공간에 도전성 스페이서를 포함하는 접착층을 개재한 후, 열합착하는 단계
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