최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2020-0075939 (2020-06-22) | |
등록번호 | 10-2184705-0000 (2020-11-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200075939 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2020-06-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 정전척의 수리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 정전척의 수리 방법은 수리 대상 정전척을 제공하는 단계, 상기 수리 대상 정전척의 상부면을 제1 연마 깊이만큼 연마하여 제1 재생 플레이트를 생성하는 단계, 상기 제1 재생 플레이트의 외주면을 제2 연마 깊이만큼 연마하여 제2 재생 플레이트를 생성하는 단계 및 상기 제1 연마 깊이 및 상기 제2 연마 깊이에 기초하여 제조된 톱 플레이트를 상기 제2 재생 플레이트에 결합하는 단계를 포함한다.
히터 레이어 및 상기 히터 레이어 보다 상부에 배치되는 전극 레이어를 포함하는 정전척에 있어서,수리 대상 정전척을 제공하는 단계;상기 수리 대상 정전척의 상부면을 제1 연마 깊이만큼 연마하여 제1 재생 플레이트를 생성하는 단계;상기 제1 재생 플레이트의 외주면을 제2 연마 깊이만큼 연마하여 제2 재생 플레이트를 생성하는 단계; 및상기 제1 연마 깊이 및 상기 제2 연마 깊이에 기초하여 제조된 톱 플레이트를 상기 제2 재생 플레이트에 결합하는 단계;를 포함하고,상기 톱 플레이트를 상기 제2 재생 플레이트에 결합하는 단계는상기 제2 재
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.