초록

본 발명은 정전척의 에지 링에 관한 것으로서, 도전성 금속층에 폴리이미드층을 절연 접착하여 히터 전극을 형성하는 정전척의 에지 링에 관한 것이다. 이를 위해 정전척의 외주에 배치되는 에지 링, 및 정전척의 일면에 놓이는 웨이퍼 에지의 온도를 보상하도록 웨이퍼 에지의 위치와 대응되는 위치의 에지 링의 일면에 구비되어 발열되는 히터 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척의 에지 링이 개시된다.

대표청구항 ▼

정전척의 외주에 배치되는 에지 링, 및상기 정전척의 일면에 놓이는 웨이퍼 에지의 온도를 보상하도록 상기 웨이퍼 에지의 위치와 대응되는 위치의 상기 에지 링의 일면에 구비되어 발열되는 히터 전극을 포함하며,상기 에지 링은,단차가 형성된 제1 에지 링, 및상기 제1 에지 링의 단차부에 안착 구비되는 제2 에지 링을 포함하며,상기 히터 전극은 상기 제2 에지 링의 하부면의 둘레방향에 구비되며,상기 히터 전극은,열선이 패터닝된 도전성 금속층,상기 도전성 금속층에 절연 접착되는 절연 필름층, 및상기 도전성 금속층 또는 절연 필름층 중 어느

정전척의 외주에 배치되는 에지 링, 및상기 정전척의 일면에 놓이는 웨이퍼 에지의 온도를 보상하도록 상기 웨이퍼 에지의 위치와 대응되는 위치의 상기 에지 링의 일면에 구비되어 발열되는 히터 전극을 포함하며,상기 에지 링은,단차가 형성된 제1 에지 링, 및상기 제1 에지 링의 단차부에 안착 구비되는 제2 에지 링을 포함하며,상기 히터 전극은 상기 제2 에지 링의 하부면의 둘레방향에 구비되며,상기 히터 전극은,열선이 패터닝된 도전성 금속층,상기 도전성 금속층에 절연 접착되는 절연 필름층, 및상기 도전성 금속층 또는 절연 필름층 중 어느 한 층에 적층되는 접착 필름층을 포함하며,상기 접착 필름층이 상기 제2 에지 링의 하부면에 압력 접합되는 것을 특징으로 하는 정전척의 에지 링.