[특허]정전 척 리페어 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683
출원번호	10-2015-0056464 (2015-04-22)
공개번호	10-2016-0126130 (2016-11-02)
등록번호	10-1712415-0000 (2017-02-27)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150056464
발명자 / 주소	이준호 / 경기도 용인시 수지구 진산로번길 , 진산마을 *동 호 (풍덕천동) 김남출 / 경기도 양평군 양평읍 중앙로번길 * 벽산블루밍단지아파트 동 호 유재석 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 *동 *호 (공세동,탑실마을대주피오레단지아파트)
출원인 / 주소	주식회사 엘케이엔지니어링 / 경기도 화성시 동탄면 동탄기흥로 **
대리인 / 주소	김성남
심사청구여부	있음 (2015-04-22)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 기술의 일 실시예에 의한 정전 척 리페어 방법은 대상물이 안착되는 플레이트의 상면에 복수의 리페어 대상 돌기부가 구비되고, 플레이트를 관통하여 리프트핀 승강용 복수의 핀홀이 구비된 정전 척이 제공되는 단계, 복수의 리페어 대상 돌기부의 상단을 지정된 깊이로 제거하여 제 1 돌기부를 형성하는 단계, 제 1 돌기부의 높이가 제 1 기준값보다 낮은 경우, 플레이트의 상면을 평탄화하여 복수의 제 1 돌기부를 제거하는 단계 및 전체 구조 상부에, 복수의 정렬 기준점을 구비하는 패턴 필름을 이용하여 제 2 돌기부를 최종 돌기부로서 형성하는

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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