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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0097856 (2017-08-01) | |
등록번호 | 10-1934299-0000 (2018-12-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170097856 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-08-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 식각액 조성물은 재배선층 또는 구리와 티타늄을 포함한 복합막질에서 구리 막질의 식각 속도를 최소화함으로 언더컷 방지 효과가 매우 우수하며, 티타늄 막질을 선택적으로제거할 수 있다.본 발명에 따른 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물은 수산화칼륨 5 ~10 중량%; 2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%; 언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%; 아미노산계 킬레이트제 0.1 ~1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어
수산화칼륨 5 ~10 중량%;2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%;언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%;아미노산계 킬레이트제 0.1 ~ 1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어지는 첨가제; 및상기 첨가제에 혼합되는 과산화수소로 구성되고,상기 과산화수소와 첨가제는 17:4 부피비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물.
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