초록 ▼

본 발명은 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 식각액 조성물은 재배선층 또는 구리와 티타늄을 포함한 복합막질에서 구리 막질의 식각 속도를 최소화함으로 언더컷 방지 효과가 매우 우수하며, 티타늄 막질을 선택적으로제거할 수 있다.본 발명에 따른 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물은 수산화칼륨 5 ~10 중량%; 2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%; 언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%; 아미노산계 킬레이트제 0.1 ~1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어

본 발명은 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 식각액 조성물은 재배선층 또는 구리와 티타늄을 포함한 복합막질에서 구리 막질의 식각 속도를 최소화함으로 언더컷 방지 효과가 매우 우수하며, 티타늄 막질을 선택적으로제거할 수 있다.본 발명에 따른 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물은 수산화칼륨 5 ~10 중량%; 2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%; 언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%; 아미노산계 킬레이트제 0.1 ~1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어지는 첨가제; 및 상기 첨가제에 혼합되는 과산화수소로 구성되고, 상기 과산화수소와 첨가제는 17:4 부피비로 혼합되는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

수산화칼륨 5 ~10 중량%;2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%;언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%;아미노산계 킬레이트제 0.1 ~ 1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어지는 첨가제; 및상기 첨가제에 혼합되는 과산화수소로 구성되고,상기 과산화수소와 첨가제는 17:4 부피비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물.

수산화칼륨 5 ~10 중량%;2-옥사졸리디논 0.1 ~ 1 중량%;언더컷 방지제 0.1 ~1 중량%;아미노산계 킬레이트제 0.1 ~ 1 중량%; 및 잔량의 초순수를 포함하여 이루어지는 첨가제; 및상기 첨가제에 혼합되는 과산화수소로 구성되고,상기 과산화수소와 첨가제는 17:4 부피비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 재배선층 또는 복합막질의 선택적 티타늄 식각액 조성물.