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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0122094 (2017-09-21) | |
공개번호 | 10-2019-0033383 (2019-03-29) | |
등록번호 | 10-2029180-0000 (2019-09-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170122094 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-09-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 상에 불순물이 없는 고품질의 황화 주석(SnS) 박막 및 그 박막을 합성하는 방법, 그리고 공정 온도 제어를 통해 이차원의 결정을 갖는 황화 주석(SnS) 박막을 합성하는 방법에 관한 것이다.
기판 상에 주석 전구체와 황 전구체를 이용한 화학적 기상증착법(chemical vapor deposition)으로 황화주석(II)(SnS) 박막을 형성하는 방법으로서, 상기 주석 전구체는 주석의 산화가가 +2가인 금속유기화합물이며, 상기 황화주석(II)(SnS) 박막은 화학양론적으로 형성되고,상기 황화주석(II)(SnS) 박막을 형성하기 위한 기판의 온도는 210℃ 내지 240℃의 범위를 가지며,상기 황화주석(II)(SnS) 박막은, 사방정계 SnS(o-SnS)가 단독으로 존재하는 상을 가지고, 상기 사방정계 SnS(o-SnS)는
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