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연합인증

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주석 칼코게나이드 2차원 박막의 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/30
  • B05D-001/00
  • B05D-001/18
  • B05D-007/24
  • C23C-016/02
출원번호 10-2018-0115949 (2018-09-28)
공개번호 10-2020-0036378 (2020-04-07)
등록번호 10-2111754-0000 (2020-05-11)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180115949
발명자 / 주소
  • 김성근 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 백인환 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 송현철 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 김상태 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 백승협 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 김진상 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 최지원 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
  • 강종윤 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 *
출원인 / 주소
  • 한국과학기술연구원 / 서울특별시 성북구 화랑로**길 * (하월곡동)
대리인 / 주소
  • 이인행; 김한; 김남식
심사청구여부 있음 (2018-09-28)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 일 관점에 의하면, 기판 표면의 적어도 일부 영역에 자기조립단분자막을 형성하는 단계; 및 상기 자기조립단분자막이 형성된 영역 상에 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계를 포함하는 주석 칼코게나이드 2차원 박막 형성방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계는 기판의 온도가 90℃ 내지 300℃의 범위에서 수행될 수 있다.

대표청구항

기판 표면의 적어도 일부 영역에 자기조립단분자막을 형성하는 단계; 및상기 자기조립단분자막이 형성된 영역 상에 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계를 포함하고,상기 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계는 기판의 온도가 90℃ 내지 300℃의 범위에서 수행되는,주석 칼코게나이드 2차원 박막 형성방법.

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