[특허]광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법

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[한국특허] 광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법
GALLIUM NITRIDE-BASED SENSOR HAVING PHOTIC STIMULATION STRUCTURE AND MANUTURING METHOD THEREOF 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01N-027/12
출원번호	10-2017-0124250 (2017-09-26)
공개번호	10-2019-0035245 (2019-04-03)
등록번호	10-1989976-0000 (2019-06-11)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170124250
발명자 / 주소	박경호 / 경기도 수원시 영통구 효원로 *, 동 *호 (매탄동, 매탄위브하늘채) 조주영 / 경기도 수원시 팔달구 중부대로번길 * (우만동, 우만주공단지아파트) 동 호 박형호 / 대전광역시 유성구 구암동 -번지 **호 고유민 / 경기도 용인시 기흥구 동백로번길 -*
출원인 / 주소	(재)한국나노기술원 / 경기도 수원시 영통구 광교로 **, 한국나노기술원연구벤처동 제호(이의동)
대리인 / 주소	이준성
심사청구여부	있음 (2017-09-26)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법이 개시된다. 광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법은, 기판에 LED 에피층을 성장시키는 단계와; 상기 LED 에피층 상에 HR(High-resistance)-GaN 층을 성장시키는 단계와; 상기 HR-GaN 층 상에 u-GaN 층 및 AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 InxAlyGa1-x-yN층으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종의 층을 순차적으로 성장시키는 단계와; 상기 LED 에피층에 전극을 형성할 수 있도록 패터닝을 수행하는 단계와; 상기 LED 에피층에 형성된 패턴에 따라 전극을 형성시키는 단계와; 상기 AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 InxAlyGa1-x-yN층으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종의 층 상에 검지물질층을 형성시키는 단계를 포함한다. 따라서, LED 에피층을 이용하여 HEMT 구조 또는 쇼트키(Schottky) 다이오드 구조의 센서를 광자극하여 센서의 감도를 높이고, 회복시간을 단축시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

기판에 LED 에피층을 성장시키는 단계; 상기 LED 에피층 상에 Barrier 층을 성장시키는 단계;상기 Barrier 층 상에 u-GaN 층, 그리고 AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 InxAlyGa1-x-yN층으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종의 층을 순차적으로 성장시키는 단계; 상기 LED 에피층에 전극을 형성할 수 있도록 패터닝을 수행하는 단계; 상기 LED 에피층에 형성된 패턴에 따라 전극을 형성시키는 단계; 및상기 AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 InxAlyGa1-x-yN층으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종의 층 상에 검지물질층을 형성시키는 단계를 포함하고,상기 Barrier 층은,AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 고저항 GaN 층 중 어느 하나의 층 또는 이 층들의 복합층으로 형성시키고,상기 LED 에피층에 흐르는 전류가 상기 Barrier 층을 지나 상기 u-GaN 층, 그리고 상기 AlxGa1-xN층, InxAl1-xN층 및 InxAlyGa1-x-yN층으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종의 층으로 흐르는 것을 막는 것을 특징으로 하는, 광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 제조 방법.

발명자의 다른 특허 :

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[한국] 하이브리드 센서를 가지는 ＬＥＤｃｈｉｐ과 그 제작방법 | 안형수, 이삼녕, 양민, 신기삼, 유영문
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[한국] 고전자 이동도 트랜지스터 구조를 가지는 센서의 제조방법 | 박경호, 조주영, 박형호, 고유민, 신찬수, 박원규, 이근우
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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