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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0131659 (2017-10-11) | |
공개번호 | 10-2019-0040833 (2019-04-19) | |
등록번호 | 10-2130060-0000 (2020-06-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170131659 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-08-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 레이저 가공 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피가공대상물의 가공 오류를 줄일 수 있는 레이저 가공 방법에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 레이저 가공 방법은 피가공대상물 상에 가공 영역을 설정하는 과정; 상기 피가공대상물의 가공 영역 중 1차 가공영역에 레이저 빔을 1차 조사하는 과정; 및 상기 피가공대상물의 가공 영역 중 2차 가공영역에 1차 조사와 상이한 조사 조건으로 상기 레이저 빔을 2차 조사하는 과정;을 포함할 수 있다.
피가공대상물 상에 복수의 가공 영역을 설정하는 과정;상기 피가공대상물의 가공 영역과 동일한 면적의 1차 가공영역에 레이저 빔을 1차 조사하는 과정; 및상기 1차 가공영역의 중앙부와 중첩되는 2차 가공영역에 1차 조사와 상이한 조사 조건으로 상기 레이저 빔을 2차 조사하는 과정;을 포함하고,상기 레이저 빔을 1차 조사하는 과정과 상기 레이저 빔을 2차 조사하는 과정에서는 동일한 좌표계를 사용하여 상기 복수의 가공 영역을 통과하는 스캔 경로를 따라 상기 레이저 빔의 조사 위치를 이동시키면서 상기 1차 가공영역과 상기 2차 가공영역에 각
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