최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2017-0142299 (2017-10-30) | |
공개번호 | 10-2019-0047916 (2019-05-09) | |
등록번호 | 10-2024586-0000 (2019-09-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170142299 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2017-10-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
펄스 제어를 이용한 플라즈마 발생용 전압 공급장치가 개시된다.본 발명의 일 실시예에 따르면, 일측에 양 전극부가 구비되고, 타측에 접지 전극부가 구비된 플라즈마 발생기; 상기 플라즈마 발생기에 기 설정된 전압의 전류를 공급하는 전원부; 상기 전원부와 상기 양 전극부를 연결하는 고압 라인; 상기 전원부와 상기 접지 전극부를 연결하는 접지 라인; 상기 고압 라인과 상기 접지 라인을 연결하는 방전 라인; 상기 고압 라인에 설치되며, 상기 전원부에서 상기 양 전극부로 공급되는 상기 전류를 단속하는 제1 스위치부; 상기 방전 라인에 설치되며
일측에 양 전극부가 구비되고, 타측에 접지 전극부가 구비된 플라즈마 발생기;상기 플라즈마 발생기에 전류를 공급하는 전원부;상기 전원부와 상기 양 전극부를 연결하는 고압 라인;상기 전원부와 상기 접지 전극부를 연결하는 접지 라인;상기 고압 라인과 상기 접지 라인을 연결하는 방전 라인;상기 고압 라인에 설치되며, 상기 전원부에서 상기 양 전극부로 공급되는 상기 전류를 단속하는 제1 스위치부;상기 방전 라인에 설치되며, 상기 고압 라인에서 상기 접지 라인으로 방전되는 전류를 단속하는 제2 스위치부; 상기 제1 스위치부 및 상기 제2 스위
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.