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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아주대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 오수기 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300010509 |
과제고유번호 | 1345144633 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-06-29 |
아르곤-질소 혼합가스의 RF ICP 방전에서 아르곤 준안정원자의 kinetics
○ 전자여기에 의한 생성과 확산 및 전자 냉각에 의한 소멸 사이의 평형을 다루는 kinetics를 통하여 저압에서 유도결합 플라즈마의 글로우 방전 속의 아르곤 원자의 준안정 원자의 생성을 계산.
○ 계산결과는 공명흡수분광분석법을 사용한 실험측정결과와 일치.
펄스 구동된 ICP 방전의 이론 및 실험적 연구 : 높은 여기상태의 아르곤 생성
○ 저압 (200mTorr)에서 펄스 구동된 유도결합 방전의 duty-off 기간에 아르곤 준안정
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