[특허]박막 증착용 전구체 용액 및 이를 이용한 박막 형성 방법.

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/455 C23C-016/08 C23C-016/34 C23C-016/448
출원번호	10-2017-0152358 (2017-11-15)
공개번호	10-2019-0055531 (2019-05-23)
등록번호	10-2103346-0000 (2020-04-16)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170152358
발명자 / 주소	박용주 / 대전광역시 유성구 구즉로 , 동 호(송강동, 송강그린아파트) 오한솔 / 세종특별자치시 한누리대로 , 호(도담동) 황인천 / 경기도 김포시 유현로 , *동 *호(풍무동, 유현마을신동아아파트) 김상호 / 세종특별자치시 도움로 , 동 *호(종촌동, 가재마을단지) 홍창성 / 세종특별자치시 보람로 , 동 호(도담동, 도램마을단지) 이상경 / 세종특별자치시 한누리대로 , *호(도담동)
출원인 / 주소	에스케이트리켐 주식회사 / 세종특별자치시 연동면 명학산단로 **-
대리인 / 주소	강형석
심사청구여부	있음 (2017-11-15)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 박막 증착용 전구체 용액에 관한 것으로서, 실온(room temperature)에서 금속 할로겐화물을 용해할 수 있는 액상 알켄(alkene) 또는 액상 알킨(alkyne)에서 선택되는 기능성 용매 및 상기 기능성 용매에 용해되어 실온에서 액상으로 존재하는 금속 할로겐화물로 이루어짐으로써 증착 공정 중 챔버 내에서 발생하는 할로겐 가스에 의한 문제점을 해소하면서 박막의 막 두께 균일성을 향상시킬 수 있는 효과를 나타낸다.

대표청구항

실온(room temperature)에서 금속 할로겐화물을 용해할 수 있는 액상 알켄(alkene) 또는 액상 알킨(alkyne)에서 선택되는 기능성 용매 및 상기 기능성 용매에 용해되어 실온에서 액상으로 존재하는 금속 할로겐화물로 이루어지며,상기 알켄은 직선형 알켄, 고리형 알켄, 분지형 알켄 중 어느 하나 또는 그 이상이며, 상기 알킨은 직선형 알킨, 분지형 알킨 중 어느 하나 또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 박막 증착용 전구체 용액.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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