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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0160118 (2019-12-04) | |
| 공개번호 | 10-2020-0072407 (2020-06-22) | |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180159668 (2018-12-12) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190160118 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-12-04) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 금속막 형성용 전구체 조성물에 관한 것으로서, 하기 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 하나로 표시되는 지르코늄 화합물 및 하기 화학식 4 내지 화학식 6 중 어느 하나로 표시되는 하프늄 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다.[화학식 1][화학식 2][화학식 3][화학식 4][화학식 5][화학식 6] (상기 화학식 1 내지 6에서 R1 내지 R5는 각각 독립적으로 수소원자 또는 C1-C6의 알킬기이며, L은 Si 또는 C1-C3의 연결기이고, X1 내지 X3은 C1 내지 C5의 알킬기 또는 -NR6R7 또는 -OR8이거나
하기 화학식 1 내지 화학식 3 중 어느 하나로 표시되는 지르코늄 화합물 및 하기 화학식 4 내지 화학식 6 중 어느 하나로 표시되는 하프늄 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막 형성용 전구체 조성물.[화학식 1][화학식 2][화학식 3][화학식 4][화학식 5][화학식 6](상기 화학식 1 내지 6에서 R1 내지 R5는 각각 독립적으로 수소원자 또는 C1-C6의 알킬기이며, L은 Si 또는 C1-C3의 연결기이고, X1 내지 X3은 C1 내지 C5의 알킬기 또는 -NR6R7 또는 -OR8이거나 또는 치환기를 포함하거나 포함
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