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연합인증

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SiO2 박막 형성용 전구체 및 이를 이용한 SiO2 박막 형성. 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/40
  • C23C-016/44
  • C23C-016/455
  • C23C-016/52
출원번호 10-2019-0036519 (2019-03-29)
공개번호 10-2019-0114876 (2019-10-10)
등록번호 10-2173384-0000 (2020-10-28)
우선권정보 대한민국(KR) 1020180036949 (2018-03-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190036519
발명자 / 주소
  • 홍창성 / 세종특별자치시 보람로 **, ****동 ***호(도담동, 도램마을 **단지)
  • 박용주 / 대전광역시 유성구 구즉로 ** 송강그린아파트 ***동 ***호
  • 김동수 / 세종특별자치시 보람로 ** ***동 ***호
  • 김성룡 / 대전광역시 서구 만년로 ** 초원아파트 ***-***
  • 오태훈 / 세종특별자치시 부강면 태산길 **
  • 김동현 / 세종특별자치시 부강*길 **-* ***호
  • 황인천 / 세종특별자치시 갈매로 ***, ***호(어진동, 푸르지오시티 *차)
  • 이상경 / 세종특별자치시 한누리대로 *** 까사리움 ***호
  • 송기창 / 경기도 안양시 포도원로 ** 양수아파트 가동 ***호
출원인 / 주소
  • 에스케이트리켐 주식회사 / 세종특별자치시 연동면 명학산단로 ***-*
대리인 / 주소
  • 강형석
심사청구여부 있음 (2019-03-29)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 화학식 1로 표시되는 비스아미노실란 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 SiO2 박막 형성용 전구체 및 이를 이용한 SiO2 박막 형성 방법에 관한 것으로서, 2개의 표면 결합기가 기판의 표면에 화학 결합함으로써 결합 후 인접한 분자와의 입체 장애가 감소되어 막의 결함 발생이 적고 막 밀도를 증가시킬 수 있다.[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 및 R2는 C1-C6의 직쇄형, 분지형 또는 고리형 알킬기 또는 알케닐기이고, R1 및 R2는 같거나 상이하다.

대표청구항

화학식 1로 표시되는 비스아미노실란 화합물을 포함하며 2개의 표면 결합기가 기판의 표면에 화학 결합하는 것을 특징으로 하는 SiO2 박막 형성용 전구체.[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 및 R2는 C1-C6의 직쇄형, 분지형 또는 고리형 알킬기 또는 알케닐기이고, R1 및 R2는 같거나 상이하다.

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