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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0152358 (2017-11-15) | |
공개번호 | 10-2019-0055531 (2019-05-23) | |
등록번호 | 10-2103346-0000 (2020-04-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170152358 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 박막 증착용 전구체 용액에 관한 것으로서, 실온(room temperature)에서 금속 할로겐화물을 용해할 수 있는 액상 알켄(alkene) 또는 액상 알킨(alkyne)에서 선택되는 기능성 용매 및 상기 기능성 용매에 용해되어 실온에서 액상으로 존재하는 금속 할로겐화물로 이루어짐으로써 증착 공정 중 챔버 내에서 발생하는 할로겐 가스에 의한 문제점을 해소하면서 박막의 막 두께 균일성을 향상시킬 수 있는 효과를 나타낸다.
실온(room temperature)에서 금속 할로겐화물을 용해할 수 있는 액상 알켄(alkene) 또는 액상 알킨(alkyne)에서 선택되는 기능성 용매 및 상기 기능성 용매에 용해되어 실온에서 액상으로 존재하는 금속 할로겐화물로 이루어지며,상기 알켄은 직선형 알켄, 고리형 알켄, 분지형 알켄 중 어느 하나 또는 그 이상이며, 상기 알킨은 직선형 알킨, 분지형 알킨 중 어느 하나 또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 박막 증착용 전구체 용액.
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