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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0169579 (2017-12-11) | |
등록번호 | 10-1987943-0000 (2019-06-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170169579 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-12-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
금속부재의 클리닝 방법을 개시한다.이러한 금속부재의 클리닝 방법은, 챔버장치용 금속부재의 표면 유지보수(refurbish)를 위한 클리닝 방법으로서, 챔버장치용 금속부재의 피처리면 측을 박리, 리코팅, 및 폴리싱 처리하고, 폴리싱 처리된 코팅층 표면을 향하여 클리닝용 승화 입자들을 분사하여 이 클리닝용 승화 입자들의 분사 및 승화(昇華) 분위기로 표면 파티클들을 강제 제거한 상태로 세정 작업을 진행하는 것을 특징으로 한다.
챔버장치용 금속부재의 표면 유지보수(refurbish)를 위한 클리닝 방법으로서,챔버장치용 금속부재의 피처리면 측을 박리, 리코팅, 및 폴리싱 처리하고, 폴리싱 처리된 챔버장치용 금속부재 측이 지지대 상에 놓여진 상태에서 코팅층 표면을 향하여 클리닝용 승화 입자들을 분사하여 이 클리닝용 승화 입자들의 분사 및 승화(昇華) 분위기로 표면 파티클들을 강제 제거한 상태로 세정 처리하는 방식으로 클리닝 작업을 진행하되,상기 지지대 상에는 상기 챔버장치용 금속부재가 놓여지기 위한 유동지지구가 설치되고, 이 유동지지구는 클리닝용 승화 입자의
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