초록 ▼

본 발명은 냉각수단으로서 다공성 레이어가 구비된 정전척에 관한 것이다. 상기 정전척은 유전체 본체; 본체 내부에 매립되는 패턴 전극을 포함한다. 이 경우 상기 정전척 상부 표면에 수평하게 배치되어 본체 내부에 매립되는 다공성 레이어를 더 포함하고, 상기 다공성 레이어로 냉매가스의 출입을 위한 제1 통기관이 구비된 것을 특징으로 한다. 상기 정전척은, 정전척 내부에 설치되는 다공성 레이어를 통해 냉매가스를 균일하게 공급하여 정전척 본체를 사전 냉각을 별도로 수행함으로써, 웨이퍼에 대한 냉각 효율 및 균일도가 향상되고, 저전압 운전이

본 발명은 냉각수단으로서 다공성 레이어가 구비된 정전척에 관한 것이다. 상기 정전척은 유전체 본체; 본체 내부에 매립되는 패턴 전극을 포함한다. 이 경우 상기 정전척 상부 표면에 수평하게 배치되어 본체 내부에 매립되는 다공성 레이어를 더 포함하고, 상기 다공성 레이어로 냉매가스의 출입을 위한 제1 통기관이 구비된 것을 특징으로 한다. 상기 정전척은, 정전척 내부에 설치되는 다공성 레이어를 통해 냉매가스를 균일하게 공급하여 정전척 본체를 사전 냉각을 별도로 수행함으로써, 웨이퍼에 대한 냉각 효율 및 균일도가 향상되고, 저전압 운전이 가능하여 수명이 연장될 수 있고, 별도 냉각 장치를 수반하지 않음으로써 장치의 소형화에 유리하다.

대표청구항 ▼

유전체 본체; 본체 내부에 매립되는 패턴 전극을 포함하는 정전척에 있어서, 상기 본체 하부에서 상부 표면에 평행하게 배치되어 결합되며 상기 유전체 본체 아래 전면적으로 접하는 형태의 다공성 레이어를 더 포함하며, 상기 다공성 레이어로 냉매가스의 출입을 위한 제1 통기관이 구비되고,상기 정전척 상부 표면에 냉매가스의 유로를 위한 메사 패턴이 구비되며, 상기 본체 내부를 통과하여 상기 메사 패턴으로 연통되는 제2 통기관이 구비되고,상기 제2 통기관은 상기 다공성 레이어를 관통하도록 형성되되, 상기 다공성 레이어외 제2 통기관은 차폐되는

유전체 본체; 본체 내부에 매립되는 패턴 전극을 포함하는 정전척에 있어서, 상기 본체 하부에서 상부 표면에 평행하게 배치되어 결합되며 상기 유전체 본체 아래 전면적으로 접하는 형태의 다공성 레이어를 더 포함하며, 상기 다공성 레이어로 냉매가스의 출입을 위한 제1 통기관이 구비되고,상기 정전척 상부 표면에 냉매가스의 유로를 위한 메사 패턴이 구비되며, 상기 본체 내부를 통과하여 상기 메사 패턴으로 연통되는 제2 통기관이 구비되고,상기 제2 통기관은 상기 다공성 레이어를 관통하도록 형성되되, 상기 다공성 레이어외 제2 통기관은 차폐되는 것을 특징으로 하는 정전척.