[특허]기판 세정용 챔버

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[한국특허] 기판 세정용 챔버 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록실용신안
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/304
출원번호	20-2007-0020748 (2007-12-26)
공개번호	20-2009-0006521 (2009-07-01)
등록번호	20-0461429-0000 (2012-07-05)
DOI	http://doi.org/10.8080/2020070020748
발명자 / 주소	정인석 / 경기도 고양시 덕양구 화신로 *, 동 *호 (행신동, 햇빛마을)
출원인 / 주소	주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
대리인 / 주소	남진우
심사청구여부	있음 (2010-12-01)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

본 고안은 반도체 또는 디스플레이 기판을 세정수나 약액을 이용하여 습식 세정하는 기판 세정용 챔버에 관한 것이다.본 고안의 구성은, 기판 세정을 수행하기 위한 세정공간을 형성하는 벽체와, 이 벽체에 설치되어 상기 세정공간에서 발생하는 미스트를 배출하는 미스트 배출부와, 상기 세정공간을 관측할 수 있도록 상기 벽체에 설치되는 관측창 및, 상기 미스트 배출구로 배출되는 미스트가 상기 관측창을 경유하지 못하도록 미스트의 배출 기류에 역방향으로 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함하여 이루어진다.위와 같이 구성된 본 고안에 따른 기판 세정용

대표청구항

기판 세정을 수행하기 위한 세정공간을 형성하는 벽체;상기 벽체에 설치되어 상기 세정공간에서 발생하는 미스트를 배출하는 미스트 배출부;상기 세정공간을 관측할 수 있도록 상기 벽체에 설치되는 관측창; 및상기 미스트 배출부로 배출되는 미스트가 상기 관측창을 경유하지 못하도록 미스트의 배출 기류에 역방향으로 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함하여 이루어진 기판 세정용 챔버.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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