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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0175136 (2017-12-19) | |
공개번호 | 10-2019-0073900 (2019-06-27) | |
등록번호 | 10-2039802-0000 (2019-10-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170175136 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-12-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 전압의 인가에 따라 정전기력을 발생시키는 척킹전극이 내부에 매설되고 상기 정전기력으로 상부에 놓인 외부의 매체를 표면에 흡착 고정하는 정전척용 세라믹 본체와 그 제조방법을 개시한다. 특히, 본 발명에 따른 정전척용 세라믹 본체는 1014~1016 Ω·㎝ 범위의 체적저항을 갖는 제1세라믹스층과, 상기 제1세라믹스층의 하면에 밀착하여 배치되되 상기 척킹전극이 상면에 배치되고 1200~1580℃ 범위의 온도에서 소결체를 이루는 제2세라믹스층을 포함한다. 이러한 정전척용 세라믹 본체는 내부 매립된 척킹전극과 함께 1200~158
전압의 인가에 따라 정전기력을 발생시키는 척킹전극이 내부에 매설되고 상기 정전기력으로 상부에 놓인 외부의 매체를 표면에 흡착 고정하는 정전척용 세라믹 본체에 있어서,상기 정전척용 세라믹 본체는 10~300㎛ 범위의 두께를 갖고, 1014~1016 Ω·㎝ 범위의 체적저항을 가지면서, 1650℃ 이상의 범위의 온도에서 소결체를 이루는 제1세라믹스층과;상기 제1세라믹스층의 하면에 밀착하도록 적층되되 상기 척킹전극이 상면에 배치되고, 상기 제1세라믹스층보다 더 낮은 체적저항을 가지면서, 상기 제1세라믹스층보다 더 낮은 1200~1580℃
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