초록

본 개시내용의 실시예들은 정전 척 어셈블리, 프로세싱 챔버, 및 기판의 온도를 유지하는 방법을 포함한다.일 실시예에서, 정전 척, 냉각 플레이트, 및 가스 박스를 포함하는 정전 척 어셈블리가 제공된다.냉각 플레이트는 냉각 플레이트에 형성된 가스 채널을 포함한다.가스 박스는 가스 채널을 통하는 냉각 가스의 유동을 제어하도록 동작가능하다.

대표청구항 ▼

정전 척 어셈블리로서,섭씨 378 도 내지 섭씨 445 도의 범위를 포함하는 온도에서 동작하도록 구성된 정전 척;상기 정전 척과 접촉하도록 배치된 냉각 플레이트 ― 상기 냉각 플레이트는 상기 냉각 플레이트에 형성된 가스 채널을 가짐 ―; 및가스 복귀 유입구, 가스 복귀 배출구, 냉각 가스 배출구, 냉각 가스 유입구, 및 열 교환기를 갖는 가스 박스를 포함하며,상기 냉각 가스 배출구는 상기 냉각 플레이트의 상기 가스 채널의 제 1 단부에 커플링되고, 상기 냉각 가스 배출구는 유동 제어 밸브만을 통해서 상기 냉각 가스 유입구에 커플링되

정전 척 어셈블리로서,섭씨 378 도 내지 섭씨 445 도의 범위를 포함하는 온도에서 동작하도록 구성된 정전 척;상기 정전 척과 접촉하도록 배치된 냉각 플레이트 ― 상기 냉각 플레이트는 상기 냉각 플레이트에 형성된 가스 채널을 가짐 ―; 및가스 복귀 유입구, 가스 복귀 배출구, 냉각 가스 배출구, 냉각 가스 유입구, 및 열 교환기를 갖는 가스 박스를 포함하며,상기 냉각 가스 배출구는 상기 냉각 플레이트의 상기 가스 채널의 제 1 단부에 커플링되고, 상기 냉각 가스 배출구는 유동 제어 밸브만을 통해서 상기 냉각 가스 유입구에 커플링되며, 상기 냉각 가스 유입구로부터 유동하는 유체는 상기 열 교환기에 접근할 수 없는(inaccessible) 상기 가스 박스를 통한 단일 경로만을 갖고, 상기 가스 복귀 유입구는 상기 냉각 플레이트의 상기 가스 채널의 제 2 단부에 커플링되며, 상기 가스 복귀 유입구는 상기 열 교환기를 통해서 상기 가스 복귀 배출구에 커플링되고, 상기 가스 박스는 상기 정전 척의 온도를 섭씨 378 도 내지 섭씨 445 도로 유지하기 위해 상기 가스 채널을 통해 냉각 가스의 유동을 제어하도록 동작가능하고, 상기 열 교환기는 상기 가스 복귀 유입구에서의 섭씨 200 도로부터 상기 정전 척 어셈블리를 포함하는 환경의 외부로 배기되도록 구성되는 상기 가스 복귀 배출구에서의 온도로 상기 냉각 가스를 냉각하도록 구성되는,정전 척 어셈블리.