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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-7023507 (2017-08-23) |
공개번호 | 10-2017-0117434 (2017-10-23) |
등록번호 | 10-2442989-0000 (2022-09-07) |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-025385 (2015-02-12) |
국제출원번호 | PCT/JP2016/051690 (2016-01-21) |
국제공개번호 | WO 2016/129352 (2016-08-18) |
번역문제출일자 | 2017-08-23 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020177023507 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-21) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 구리의 존재 하에서 티타늄을 선택적으로 에칭할 수 있다. 더욱이 독성이 낮고, 보존안정성이 우수한 에칭액, 및 이를 이용한 에칭방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 에칭액은, 황산, 염산, 및 트리클로로아세트산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 산과, 티오케톤계 화합물 및 티오에테르계 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종류의 유기황화합물을 포함하는 것이고, 구리의 존재 하에서 티타늄을 선택적으로 에칭할 수 있다.
구리의 존재 하에서 티타늄을 선택적으로 에칭하기 위한 에칭액에 있어서, 황산, 염산, 및 트리클로로아세트산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 산, 및 티오케톤계 화합물 및 티오에테르계 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 유기황화합물을 포함하고,상기 산의 농도가, 20~70중량%이고,상기 유기황화합물의 농도가, 0.01~10중량%인 것을 특징으로 하는 에칭액.
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