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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-7023791 (2017-08-25) | |
공개번호 | 10-2017-0102368 (2017-09-08) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-162484 (2015-08-20) | |
국제출원번호 | PCT/JP2016/002814 (2016-06-10) | |
국제공개번호 | WO 2017/029771 (2017-02-23) | |
번역문제출일자 | 2017-08-25 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020177023791 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-08-25) | |
심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
진공챔버 내의 분위기가 성막에 적절한 상태인지를 확실히 판별할 수 있는 스퍼터링 장치 및 그 상태 판별 방법을 제공한다.타겟(2)을 스퍼터링하고 이 타겟에 대향 배치되는 기판(W)에 성막 하는 스퍼터링 장치(SM)에, 기판으로의 성막에 앞서 진공챔버 내의 분위기가 성막에 적절한 상태인지를 판별하는 본 발명의 스퍼터링 장치의 상태 판별 방법은, 스퍼터링 장치로서 격절 수단(6, 71~73)에 의해 타겟과 기판이 바라보는, 진공챔버 내와 격절된 격절 공간을 진공챔버 내에 설치하고, 진공챔버 내의 진공 흡인에 따라 격절 공간이 진공 흡인
타겟을 스퍼터링하고 이 타겟에 대향 배치되는 기판에 성막하는 스퍼터링 장치에, 기판으로의 성막에 앞서 진공챔버 내의 분위기가 성막에 적절한 상태인지를 판별하는 스퍼터링 장치의 상태 판별 방법에 있어서,스퍼터링 장치로서, 격절 수단에 의해 타겟과 기판이 바라보는, 진공챔버 내와 격절된 격절 공간(isolated space)을 진공챔버 내에 설치하고, 진공챔버 내의 진공 흡인에 따라 격절 공간이 진공 흡인되도록 한 것을 이용하고,진공챔버 내를 미리 설정된 압력까지 진공 흡인하고, 이 상태에서 가스를 도입하고, 이 때의 격절 공간 내의
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