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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-7036291 (2017-12-15) | |
공개번호 | 10-2018-0008719 (2018-01-24) | |
등록번호 | 10-2000769-0000 (2019-07-10) | |
국제출원번호 | PCT/IB2015/000695 (2015-05-15) | |
국제공개번호 | WO 2016/185234 (2016-11-24) | |
번역문제출일자 | 2017-12-15 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020177036291 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-12-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 개시내용은, 박막 배터리들의 제조시 리튬 증착 프로세스에서 사용하기 위한 마스킹 디바이스(100)를 제공한다.마스킹 디바이스(100)는 금속 또는 금속 합금으로 만들어진 마스크 부분(110) 및 마스크 부분(110)의 하나 또는 그 초과의 개구부들(120)을 포함하고, 하나 또는 그 초과의 개구부들(120)은 증착 재료의 입자들이 마스크 부분(110)을 통과하는 것을 허용하도록 구성되며, 하나 또는 그 초과의 개구부들(120)의 각각의 개구부의 크기는 적어도 0.5 ㎠이다.
박막 배터리들의 제조시 리튬 증착 프로세스에서 사용하기 위한 마스킹 디바이스로서,금속 또는 금속 합금으로 만들어진 마스크 부분;상기 마스크 부분의 하나 또는 그 초과의 개구부들; 및상기 마스크 부분에 제공된 절연체;를 포함하고,상기 하나 또는 그 초과의 개구부들은 증착 재료의 입자들이 상기 마스크 부분을 통과하는 것을 허용하도록 구성되며, 상기 하나 또는 그 초과의 개구부들의 각각의 개구부의 크기는 적어도 0.5 ㎠이고,상기 마스크 부분과 상기 절연체가 서로로부터 분리가능하도록, 상기 마스크 부분과 상기 절연체가 별개의 엔티티들(s
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