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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0038883 (2021-03-25) | |
등록번호 | 10-2376634-0000 (2022-03-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210038883 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-03-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 이차전지에 사용하는 음극용 리튬 증착장치 및 증착방법에 관한 것으로써, 리튬을 동박 등의 금속포일에 연속적으로 증착하면서도 효과적으로 균일하게 두께를 제어할 수 있고, 물리적 및 전기적으로 높은 성능을 갖는 음극용 리튬전극을 생산할 수 있는 효과가 있다.
금속포일을 이송하는 산소가 차폐된 반입부;상기 반입부에서 이송된 상기 금속포일을 와인더에 연결하여 반출하되, 상기 금속포일의 표면을 클리닝하는 로딩챔버;상기 로딩챔버에서 반출된 상기 클리닝 된 금속포일을 쿨링드럼의 양쪽 끝까지 감아 이송하면서 상기 쿨링드럼 하부에 배치된 리튬발생장치에서 상기 금속포일의 일면 또는 양면에 리튬을 연속적으로 증착하는 진공증착챔버; 상기 진공증착챔버에서 이송된 리튬을 증착한 금속포일을 리와인더로 회수하되, 상기 리와인더 전에 배치하여, 균일한 리튬막이 증착된 리튬을 증착한 금속포일을 회수하기 위해, 상기
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