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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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보호 층 툴을 갖는 통합형 리튬 증착 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01M-004/133
  • B32B-027/08
  • H01M-004/02
  • H01M-004/04
  • H01M-004/1393
출원번호 10-2018-7024822 (2018-08-28)
공개번호 10-2018-0100706 (2018-09-11)
우선권정보 미국(US) 62/288,217 (2016-01-28)
국제출원번호 PCT/US2017/013648 (2017-01-16)
국제공개번호 WO 2017/131997 (2017-08-03)
번역문제출일자 2018-08-28
DOI http://doi.org/10.8080/1020187024822
발명자 / 주소
  • 헐레, 수브라마니야 피. / 미국 ***** 캘리포니아 마운틴 뷰 샤워 드라이브 ** 에프***
  • 하아스, 디터 / 미국 ***** 캘리포니아 새너제이 샤르마 코트 ****
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤드남
법적상태 공개

초록

일 구현에서, 에너지 저장 디바이스들에서 리튬 금속을 증착하고 프로세싱하기 위한 통합형 프로세싱 툴이 제공된다.통합형 프로세싱 툴은 웹 툴일 수 있다.통합형 프로세싱 툴은, 후속하는 챔버들을 통해 연속 재료 시트를 운송하기 위한 릴-투-릴 시스템을 포함할 수 있으며, 그 후속하는 챔버들은 연속 재료 시트 상에 리튬 금속의 박막을 증착하기 위한 챔버, 및 리튬 금속의 박막의 표면 상에 보호 막을 증착하기 위한 챔버이다.리튬 금속의 박막을 증착하기 위한 챔버는 PVD 시스템, 이를테면 전자-빔 증발기, 박막 전사 시스템, 또는 슬롯-다

대표청구항

음의 전극으로서,실리콘 그래파이트 애노드;상기 실리콘 그래파이트 애노드 상에 형성된 리튬 금속의 막; 및상기 리튬 금속의 막 상에 형성된 보호 막을 포함하며,상기 보호 막은 리튬-이온 전도성 재료 또는 인터리프(interleaf) 막인,음의 전극.

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