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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-7024822 (2018-08-28) | |
공개번호 | 10-2018-0100706 (2018-09-11) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/288,217 (2016-01-28) | |
국제출원번호 | PCT/US2017/013648 (2017-01-16) | |
국제공개번호 | WO 2017/131997 (2017-08-03) | |
번역문제출일자 | 2018-08-28 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020187024822 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
일 구현에서, 에너지 저장 디바이스들에서 리튬 금속을 증착하고 프로세싱하기 위한 통합형 프로세싱 툴이 제공된다.통합형 프로세싱 툴은 웹 툴일 수 있다.통합형 프로세싱 툴은, 후속하는 챔버들을 통해 연속 재료 시트를 운송하기 위한 릴-투-릴 시스템을 포함할 수 있으며, 그 후속하는 챔버들은 연속 재료 시트 상에 리튬 금속의 박막을 증착하기 위한 챔버, 및 리튬 금속의 박막의 표면 상에 보호 막을 증착하기 위한 챔버이다.리튬 금속의 박막을 증착하기 위한 챔버는 PVD 시스템, 이를테면 전자-빔 증발기, 박막 전사 시스템, 또는 슬롯-다
음의 전극으로서,실리콘 그래파이트 애노드;상기 실리콘 그래파이트 애노드 상에 형성된 리튬 금속의 막; 및상기 리튬 금속의 막 상에 형성된 보호 막을 포함하며,상기 보호 막은 리튬-이온 전도성 재료 또는 인터리프(interleaf) 막인,음의 전극.
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