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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0008293 (2018-01-23) | |
공개번호 | 10-2019-0089582 (2019-07-31) | |
등록번호 | 10-2070495-0000 (2020-01-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180008293 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-01-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
액적 제거 효율이 향상된 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 기판; 및 상기 기판 위에 순차적으로 배열된 복수의 층들을 포함한다. 여기서, 상기 각 층들은 전극 및 상기 전극을 덮는 절연막을 가지며, 상기 전극으로 전압 인가시 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 제거 가능한다.
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