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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0087291 (2019-07-19) | |
| 공개번호 | 10-2021-0010005 (2021-01-27) | |
| 등록번호 | 10-2265258-0000 (2021-06-09) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190087291 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-07-19) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
액적 제거 효율이 향상된 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 기판, 상기 기판 위에 특정 간격을 가지고 배열된 전극들 및 상기 전극들 위에 형성된 절연막을 포함한다. 여기서, 상기 전극들 중 제 1 전극으로 제 1 전기 신호가 인가되고, 제 2 전극으로 제 2 전기 신호가 인가되며, 제 3 전극으로 제 3 전기 신호가 인가된다. 또한, 상기 전극들은 단층에 배열되고, 상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기
클리닝 기기에 있어서,기판;상기 기판 위에 특정 간격을 가지고 배열된 전극들; 및상기 전극들 위에 형성된 절연막을 포함하며,상기 전극들 중 제 1 전극으로 제 1 전기 신호가 인가되고, 제 2 전극으로 제 2 전기 신호가 인가되며, 제 3 전극으로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 전극들은 단층에 배열되고, 상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 진동하고 이동하여 제거되고,서로
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