초록

반도체나 디스플레이 제조공정 등에서 사용되는 세라믹히터용 RF 로드가 소개된다. RF 로드는 탄성체에 의해 연결된 제1 로드와 제2 로드를 구비한다. RF 로드의 길이방향 열팽창 및 수축으로 인한 응력은 압축스프링에 의해 흡수된다.

대표청구항 ▼

매설된 RF 전극 및 히터 전극을 구비하며, RF 전극과 통하도록 배면에 로드 삽입홀이 형성되고 로드 삽입홀에는 암나사가 형성된 히터플레이트;상기 로드 삽입홀에 상단부가 삽입되며, 길이방향 열팽창 및 수축 응력이 압축스프링에 의해 흡수될 수 있도록 구성된 RF 로드; 및상기 RF 로드가 수용되며, 상단은 히터플레이트의 배면에 접합되며 하단에 마운트가 마련된 통형의 샤프트를 포함하며,상기 RF 로드는,제1 로드; 및상기 제1 로드의 일단부가 삽입되는 수용홈이 마련된 제2 로드; 및상기 수용홈 내에 배치되며, 일단은 제1 로드에 고정되

매설된 RF 전극 및 히터 전극을 구비하며, RF 전극과 통하도록 배면에 로드 삽입홀이 형성되고 로드 삽입홀에는 암나사가 형성된 히터플레이트;상기 로드 삽입홀에 상단부가 삽입되며, 길이방향 열팽창 및 수축 응력이 압축스프링에 의해 흡수될 수 있도록 구성된 RF 로드; 및상기 RF 로드가 수용되며, 상단은 히터플레이트의 배면에 접합되며 하단에 마운트가 마련된 통형의 샤프트를 포함하며,상기 RF 로드는,제1 로드; 및상기 제1 로드의 일단부가 삽입되는 수용홈이 마련된 제2 로드; 및상기 수용홈 내에 배치되며, 일단은 제1 로드에 고정되고 타단은 제2 로드에 고정된 압축스프링을 포함하며,상기 제1 로드의 타단부는 마운트에 고정되며, 수용홈 외부로 노출된 제1 로드의 타단부 길이는 25mm 이상이며, 압축스프링은 제1 로드의 타단부 끝단으로부터 30~70mm 위치에 배치되고,상기 제2 로드의 일단부에는 로드 삽입홀의 암나사에 나사결합하기 위한 수나사부가 마련되고, 수나사부의 직경이 가장 크며, 제2 로드의 일단부 선단은 RF 전극에 브레이징되고,상기 제2 로드가 제1 로드보다 긴 것을 특징으로 하는 압축스프링이 결합된 알에프 로드를 갖는 세라믹히터.