[특허]세정 조성물, 세정 장치, 및 그를 이용한 반도체 소자의 제조 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C11D-003/43 C11D-001/12 C11D-011/00 H01L-021/66 H01L-021/67
출원번호	10-2018-0015263 (2018-02-07)
공개번호	10-2019-0095814 (2019-08-16)
등록번호	10-2464636-0000 (2022-11-03)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180015263
발명자 / 주소	박미현 / 경기도 성남시 분당구 판교원로 *, 동 **호 (판교동, 판교원마을단지아파트) 오정민 / 인천광역시 연수구 송도과학로번길 * *- 김영후 / 경기도 용인시 수지구 광교마을로 , **동 호 (상현동, 광교마을단지) 이효산 / 경기도 화성시 동탄반석로 한화우림 아파트 동 **호 김태근 / 충남 천안시 서북구 직산읍 산단 길 * 세메스 연예림 / 경기도 화성시 효행로 **** 오해림 / 충남 천안시 서북구 직산읍 산단 길 세메스 정지수 / 경기도 화성시 효행로 조민희 / 경기도 화성시 효행로 **
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** (매탄동) 세메스 주식회사 / 충청남도 천안시 서북구 직산읍 산단길 ** ( )
대리인 / 주소	특허법인가산
심사청구여부	있음 (2020-12-23)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

본 발명은 유기물 세정 조성물, 세정 장치, 및 그를 이용한 반도체 소자의 제조 방법을 개시한다. 그의 조성물은 계면 활성제, 탈이온수, 및 유기 용매를 포함한다. 상기 계면 활성제는 0.28M 내지 0.39의 농도(0.01 내지 0.017 몰 분율)를 갖고, 상기 유기 용매는 7.1M 내지 7.5M의 농도(0.27 내지 0.35 몰 분율)를 가질 수 있다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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