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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0048695 (2018-04-26) | |
공개번호 | 10-2018-0120119 (2018-11-05) | |
등록번호 | 10-2662396-0000 (2024-04-25) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170053692 (2017-04-26);대한민국(KR) 1020170063918 (2017-05-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180048695 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-04-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 박막 형성용 조성물 및 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 테트라할로겐화 티타늄 및 알콕시아렌계 화합물을 포함하여 박막의 비저항 감소 및 우수한 단차피복성을 갖는 박막 형성용 조성물 및 박막의 제조방법에 관한 것이다.
TiCl4 및 알콕시아렌계(alkoxyarene-based) 화합물을 포함하고,상기 알콕시아렌계 화합물은 벤젠환 및 나프탈렌환의 적어도 하나를 함유하며,상기 TiCl4과 상기 알콕시아렌계 화합물을 1 : 0.2 내지 5의 몰비로 포함하는 박막 형성용 조성물.
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