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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0174714 (2017-12-19) | |
공개번호 | 10-2019-0073661 (2019-06-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170174714 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-12-19) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 폴리싱 헤드의 회전속도를 실시간 감지하여 구동 모터의 목표 회전속도를 보정할 수 있는 웨이퍼 연마장치에 관한 것이다.본 발명은, 웨이퍼들이 접착된 블록을 하면에 고정시키는 폴리싱 헤드; 상기 폴리싱 헤드의 상측에 연결되고, 상기 폴리싱 헤드에 회전 구동력을 전달하는 동력 전달부; 상기 동력 전달부에 연결되고, 목표 회전속도에 따라 회전 구동력을 제공하는 구동 모터; 상기 폴리싱 헤드의 실제 회전속도를 측정하는 회전속도 측정수단; 및 상기 구동 모터의 목표 회전속도와 상기 회전속도 측정수단의 실제 회전속도 오차에 따라 상기
웨이퍼들이 접착된 블록을 하면에 고정시키는 폴리싱 헤드;상기 폴리싱 헤드의 상측에 연결되고, 상기 폴리싱 헤드에 회전 구동력을 전달하는 동력 전달부;상기 동력 전달부에 연결되고, 목표 회전속도에 따라 회전 구동력을 제공하는 구동 모터;상기 폴리싱 헤드의 실제 회전속도를 측정하는 회전속도 측정수단; 및상기 구동 모터의 목표 회전속도와 상기 회전속도 측정수단의 실제 회전속도 오차에 따라 상기 구동 모터에 제공되는 목표 회전속도를 실시간 보정하는 제어부;를 포함하는 웨이퍼 연마장치.
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