[특허]펨토초 레이저를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 이에 따라 제조된 오픈 마스크 조립체, 및 오픈 마스크 조립체 제조 장치

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펨토초 레이저를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 이에 따라 제조된 오픈 마스크 조립체, 및 오픈 마스크 조립체 제조 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-051/56 G03F-007/20 H01L-021/033
출원번호	10-2018-0059214 (2018-05-24)
등록번호	10-1869889-0000 (2018-06-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180059214
발명자 / 주소	김영주 / 경기도 오산시 남부대로 *-, *동 *호 (고현동, 오산고현아이파크)
출원인 / 주소	주식회사 엠더블유와이 / 인천광역시 남구 방축로 * ,호,**호(주안동)
대리인 / 주소	이영수
심사청구여부	있음 (2018-05-24)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 이에 따라 제조된 오픈 마스크 조립체, 및 오픈 마스크 조립체 제조 장치에 관한 것이며, 이는 박막의 금속시트에 복수의 예비 개구부를 형성하는 제1단계; 복수의 예비 개구부가 형성된 상기 금속시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합하는 제2단계; 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 금속시트에서 상기 복수의 예비 개구부를 레이저를 이용하여 소정 설계 치수로 트리밍(trimming)하는 제3단계를 포함한다.

대표청구항

박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 제조 방법으로서, 박막의 금속시트에 복수의 예비 개구부를 형성하는 제1단계; 복수의 예비 개구부가 형성된 상기 금속시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합하는 제2단계; 및상기 마스크 프레임에 접합된 상기 금속시트에서 상기 복수의 예비 개구부를 레이저를 이용하여 소정 설계 치수로 트리밍(trimming)하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체 제조 방법.

이 특허를 인용한 특허 (5)

[한국] 오픈마스크 조립체의 제조방법 | 강호민, 허동준, 이승필
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[한국] OLED 마스크 조립체의 제조 방법 | 강호민, 허동준, 이승필
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[한국] 오픈 마스크 조립체의 제조 방법 | 강호민, 허동준, 이승필
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[한국] 펨토초 레이저 가공 방식을 이용한 마스크 시트 제조방법 | 전기택
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[한국] 중대형 셀 사이즈용 선인장 후가공 방식의 OLED 메탈 마스크 제조방법 | 윤동준
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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