초록 ▼

본 발명은 열 및 전기전도 향상을 위한 중층 박막 필름 및 제조방법에 관한 것으로, 비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와; 상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와; 상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버

본 발명은 열 및 전기전도 향상을 위한 중층 박막 필름 및 제조방법에 관한 것으로, 비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와; 상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와; 상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버 내부의 증착 챔버(22)로 이송시켜 아르곤(Ar)을 사용하여 스파터링법으로 200W/mK~2,500W/mK의 열전도율을 갖도록 상기 그라파이트 필름의 양쪽 면에 50nm~1μm의 두께의 동(Cu) 박막(30,40) 증착과 동시에 박막의 박리 방지를 위한 이온플레이팅을 수행하여 3중 구조의 박막 시트가 형성되도록 하는 제3 단계(S300)와; 상기 제3 단계 후, 중층 박막 필름을 리와인딩 챔버(23)에서 되감는 제4 단계(S400)가 포함되는 것을 특징으로 하는 열 및 전기전도 향상을 위한 중층 박막 필름 및 제조방법을 구현함으로써, 박막의 그라파이트 필름에 동 박막을 단면 또는 양면에 증착시켜 높은 전기전도와 열전도율을 갖도록 하여 전자기기들에서 발생하는 국부 발열 감쇠시키고, 높은 전기전도 특성을 활용하여 전자파를 차단하는 박막 필름을 제조하여 전자기기의 방열 및 전자파 차단 성능을 개선하고, 그 필름을대량으로 제조할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와;상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와;상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버 내부의 증착 챔버(22)로 이송시켜 아르곤(Ar)을 사용하여 스파터링법으로 200W/mK

비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와;상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와;상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버 내부의 증착 챔버(22)로 이송시켜 아르곤(Ar)을 사용하여 스파터링법으로 200W/mK~2,500W/mK의 열전도율을 갖도록 상기 그라파이트 필름의 양쪽 면에 50nm~1μm의 두께의 동(Cu) 박막(30,40) 증착과 동시에 박막의 박리 방지를 위한 이온플레이팅을 수행하여 3중 구조의 박막 시트가 형성되도록 하는 제3 단계(S300)와;상기 제3 단계 후, 중층 박막 필름을 리와인딩 챔버(23)에서 되감는 제4 단계(S400)가 포함되고,상기 제3 단계의 동(Cu) 박막(30,40)의 증착은, 상기 그라파이트 필름(10)의 양쪽 면에 격자무늬로 패턴화시킨 은박 테이프를 사전에 부착한 후, 상기 동(Cu) 박막을 50nm~1μm의 두께로 스파터링법으로 증착시킨 다음 상기 은박 테이프를 박리시키는 3층 구조의 박막 시트가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 열 및 전기전도 향상을 위한 중층 박막 필름 제조방법.