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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0059214 (2018-05-24) | |
등록번호 | 10-1869889-0000 (2018-06-15) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180059214 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-05-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 이에 따라 제조된 오픈 마스크 조립체, 및 오픈 마스크 조립체 제조 장치에 관한 것이며, 이는 박막의 금속시트에 복수의 예비 개구부를 형성하는 제1단계; 복수의 예비 개구부가 형성된 상기 금속시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합하는 제2단계; 상기 마스크 프레임에 접합된 상기 금속시트에서 상기 복수의 예비 개구부를 레이저를 이용하여 소정 설계 치수로 트리밍(trimming)하는 제3단계를 포함한다.
박막 공정용 오픈 마스크 조립체의 제조 방법으로서, 박막의 금속시트에 복수의 예비 개구부를 형성하는 제1단계; 복수의 예비 개구부가 형성된 상기 금속시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합하는 제2단계; 및상기 마스크 프레임에 접합된 상기 금속시트에서 상기 복수의 예비 개구부를 레이저를 이용하여 소정 설계 치수로 트리밍(trimming)하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체 제조 방법.
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