[특허]실리콘질화막 식각 조성물

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06
출원번호	10-2018-0062247 (2018-05-31)
등록번호	10-1953380-0000 (2019-02-22)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180062247
발명자 / 주소	이석호 / 경기도 용인시 기흥구 죽현로 *- 송정환 / 서울특별시 양천구 목동서로 *, 대림아크로빌 호 (신정동) 전성식 / 경기도 수원시 영통구 권광로번길 * 매탄현대힐스테이트 *-호 조성일 / 경기도 평택시 원칠원길 동광아파트 *동 호 김병탁 / 인천광역시 계양구 봉오대로번길 , *동 호 (효성동, 태산아파트) 임아현 / 경기도 평택시 원칠원길 동광아파트 *동 호 이준우 / 전라북도 완주군 봉동읍 봉동동서로 *
출원인 / 주소	엘티씨에이엠 주식회사 / 경기도 평택시 산단로번길 (모곡동)
대리인 / 주소	특허법인명인
심사청구여부	있음 (2018-05-31)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 실리콘질화막 식각용 조성물에 대한 것으로, 상기 식각용 조성물은 무기산, 규소계 화합물 및 물로 이루어지고 불소를 포함하지 않으며 하부 금속막의 손상 및 실리콘산화막의 식각율을 최소화 하면서 실리콘질화막을 선택적으로 제거할 수 있다.

대표청구항 ▼

무기산, 화학식1로 표기되는 규소계 화합물 및 물을 포함하고, 불소를 포함하지 않으며, 질화막에 대한 식각 속도가 산화막에 대한 식각 속도보다 200배 이상인실리콘질화막 식각용 조성물.[화학식 1](R1)3-Si-R2-Si-(R1)3상기 화학식 1에서 R1은 서로 독립적으로 수소 원자, 하이드록시기, C1-10의 알킬기 또는 C1-10의 알콕시기이며, 여섯 개의 R1 중에 적어도 두 개 이상은 하이드록시기 또는 C1-10의 알콕시기이고, R2는 C2-10의 치환될 수 있는 알킬렌기이고, 상기 치환은 치환되는 상기 작용기에 포함된 하

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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