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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0070583 (2018-06-20) | |
공개번호 | 10-2019-0143075 (2019-12-30) | |
등록번호 | 10-2133279-0000 (2020-07-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180070583 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-09-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 2 개의 마스크 필름을 이용하여, 일면 상에 제1 패턴부 내지 제4 패턴부가 구비된 회절 격자 도광판용 몰드를 제조하는 방법 및 회절 격자 도광판의 제조방법에 관한 것이다.
각각 독립된 영역에 형성된 제1 개구 및 제2 개구를 포함하는 제1 마스크 필름을 준비하는 단계;몰드용 기재 일면 상에 상기 제1 마스크 필름을 부착하고 상기 제1 개구만을 개방한 후, 상기 제1 마스크 필름이 부착된 몰드용 기재를 메쉬부가 상면에 구비된 파라데이 상자 내에 위치시키고, 플라즈마 식각을 이용하여 상기 제1 개구에 의해 노출된 상기 몰드용 기재 일면의 제1 영역 상에 제1 패턴부를 형성하는 단계; 및상기 제2 개구만을 개방한 후, 플라즈마 식각을 이용하여 상기 제2 개구에 의해 노출된 상기 몰드용 기재 일면의 제2 영
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