최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2018-0074414 (2018-06-28) | |
등록번호 | 10-1980137-0000 (2019-05-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180074414 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2018-06-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것으로, 웨이퍼를 흡착하여 안정적으로 이송시킬 때, 받침 부재에 안착 이송되는 웨이퍼를 부드럽게 안착시키면서 진공펌프에 의하여 웨이퍼가 흡착 유지되게 함과 동시에 받침 부재에 뚫은 진공 흡음 구멍에 끼워진 흡입 호스의 꼬임을 방지하여 받침 부재를 전, 후진 및 회전시키는 이송 아암의 작동에 지장을 초래하는 것을 방지하도록 하는 것이다.본 발명의 구성은, 전, 후 또는 좌, 우로 컨베어 등의 이송수단에 의하여 이송되는 이동 구동체와; 상기 이동 구동체에 설치되어 모터 및 실린더에 의하여 회전 및 승
전, 후 또는 좌, 우로 이송되는 이동 구동체(10)와; 상기 이동 구동체(10)에 설치되어 회전 및 승, 하강하는 주 회전축(20)과; 상기 주 회전축(20)에 설치한 이송 아암(30)을 구성하는 제1 링크(31)와; 상기 제1 링크(31)의 타단과 제1 회전축(32)에 의하여 연결된 제2 링크(33)와; 상기 제2 링크(33)의 타단과 제2 회전축(34)에 연결된 웨이퍼 받침 부재 하우징(35)과; 상기 받침 부재 하우징(35) 전방으로 고정 돌출시킨 웨이퍼 받침 부재(40)를 포함하여 구성되는 웨이퍼 이송 로봇(R))에 있어서
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.