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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2012-0082310 (2012-07-27) | |
| 등록번호 | 10-1308517-0000 (2013-09-09) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020120082310 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2012-07-27) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
웨이퍼 이송 로봇이 개시된다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇은, 내부에 밀폐 공간이 형성된 하우징이 받침부재와 구획되어 받침부재의 상면에 형성된다.그러므로, 하우징의 내부에 제 1 내지 제 4 구동부를 별도로 각각 독립적으로 설치할 수 있고, 제 1 내지 제 4 구동부에 의하여 운동하는 제 1 내지 제 4 아암이 상호 간섭하지 않도록 설치할 수 있다.따라서, 제 1 내지 제 4 구동부에 의하여 각각 구동되는 제 1 내지 제 4 아암을 정밀하게 제어할 수 있는 효과가 있다.
내부에 공간이 형성된 받침부재;상기 받침부재의 상면에 탑재 설치된 하우징;상기 받침부재의 내부에 설치되며 상기 하우징을 승강시키는 승강수단;상기 하우징의 내부에 설치되어 독립적으로 구동하는 제 1 내지 제 4 구동부;상호 회전가능하게 결합된 복수의 연결링크에 의하여 각각 형성되고, 일측이 상기 제 1 내지 제 4 구동부에 각각 연결되어 상기 제 1 내지 제 4 구동부에 의하여 각각 운동하며, 타측에는 웨이퍼가 탑재 지지되는 제 1 내지 제 4 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
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