초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것으로, 웨이퍼를 흡착하여 안정적으로 이송시킬 때, 받침 부재에 안착 이송되는 웨이퍼를 부드럽게 안착시키면서 진공펌프에 의하여 웨이퍼가 흡착 유지되게 함과 동시에 받침 부재에 뚫은 진공 흡음 구멍에 끼워진 흡입 호스의 꼬임을 방지하여 받침 부재를 전, 후진 및 회전시키는 이송 아암의 작동에 지장을 초래하는 것을 방지하도록 하는 것이다.본 발명의 구성은, 전, 후 또는 좌, 우로 컨베어 등의 이송수단에 의하여 이송되는 이동 구동체와; 상기 이동 구동체에 설치되어 모터 및 실린더에 의하여 회전 및 승

본 발명은 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것으로, 웨이퍼를 흡착하여 안정적으로 이송시킬 때, 받침 부재에 안착 이송되는 웨이퍼를 부드럽게 안착시키면서 진공펌프에 의하여 웨이퍼가 흡착 유지되게 함과 동시에 받침 부재에 뚫은 진공 흡음 구멍에 끼워진 흡입 호스의 꼬임을 방지하여 받침 부재를 전, 후진 및 회전시키는 이송 아암의 작동에 지장을 초래하는 것을 방지하도록 하는 것이다.본 발명의 구성은, 전, 후 또는 좌, 우로 컨베어 등의 이송수단에 의하여 이송되는 이동 구동체와; 상기 이동 구동체에 설치되어 모터 및 실린더에 의하여 회전 및 승, 하강하는 주 회전축과; 상기 주 회전축에 연결된 제1 링크와; 상기 제1 링크의 타단을 제1 회전축에 의하여 연결된 제2 링크와; 상기 제2 링크의 타단을 제2 회전축에 연결된 웨이퍼 받침 부재 하우징과; 상기 받침 부재 하우징 전방으로 돌출시킨 웨이퍼 받침 부재 포함하여 구성되는 것에 있어서, 상기 받침 부재는 복수의 중량 감소용 구멍이 형성된 양측 받침판과; 상기 양측 받침판 내측 둘레에 형성한 끼움 요홈에 끼워 양측 받침판 중앙 공간부에 설치하되, 복수의 에어 흡입구멍이 형성된 에어 흡입 보조 받침부와; 상기 에어 흡입 보조 받침부 내부 공간부에 설치되는 에어 흡입 박스; 및 상기 에어 흡입 박스 일측에 연결한 연결 흡기관;을 포함하여 구성하고, 상기 연결 흡기관의 타단을 제2 회전축의 둘레에 나사 결합하되 상기 제2 회전축과 함께 회전되는 에어 흡입용 어댑터의 일측과 연결시키되, 상기 에어 흡입용 어댑터의 상부에 나사 결합한 중공 파이프의 상단 에어 흡입구멍과 연통시킨 캡과 받침 부재 하우징의 일측 상방에 설치한 소형 진공펌프를 에어 흡입호스로 연결하여 구성함을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

전, 후 또는 좌, 우로 이송되는 이동 구동체(10)와; 상기 이동 구동체(10)에 설치되어 회전 및 승, 하강하는 주 회전축(20)과; 상기 주 회전축(20)에 설치한 이송 아암(30)을 구성하는 제1 링크(31)와; 상기 제1 링크(31)의 타단과 제1 회전축(32)에 의하여 연결된 제2 링크(33)와; 상기 제2 링크(33)의 타단과 제2 회전축(34)에 연결된 웨이퍼 받침 부재 하우징(35)과; 상기 받침 부재 하우징(35) 전방으로 고정 돌출시킨 웨이퍼 받침 부재(40)를 포함하여 구성되는 웨이퍼 이송 로봇(R))에 있어서

전, 후 또는 좌, 우로 이송되는 이동 구동체(10)와; 상기 이동 구동체(10)에 설치되어 회전 및 승, 하강하는 주 회전축(20)과; 상기 주 회전축(20)에 설치한 이송 아암(30)을 구성하는 제1 링크(31)와; 상기 제1 링크(31)의 타단과 제1 회전축(32)에 의하여 연결된 제2 링크(33)와; 상기 제2 링크(33)의 타단과 제2 회전축(34)에 연결된 웨이퍼 받침 부재 하우징(35)과; 상기 받침 부재 하우징(35) 전방으로 고정 돌출시킨 웨이퍼 받침 부재(40)를 포함하여 구성되는 웨이퍼 이송 로봇(R))에 있어서, 상기 웨이퍼 받침 부재(40)는, 복수의 중량 감소용 구멍(41')(42')을 일정간격을 두고 형성하고, 상기 중량 감소용 구멍(41')과 중량 감소용 구멍(41') 및 중량 감소용 구멍(42')과 중량 감소용 구멍(42') 사이에 쿠션 부재(41A)(42A)를 돌출형성시킨 양측 받침판(41)(42)과;상기 양측 받침판(41)(42) 각각의 내측 둘레에 형성한 끼움 요홈(41B)(42B)에 끼워 양측 받침판 중앙 공간부(43)에 설치하되, 복수의 에어 흡입구멍(51)이 형성된 에어 흡입 보조 받침부(50)와; 상기 에어 흡입 보조 받침부(50) 내부 공간부(52)에 설치되는 에어 흡입 박스(60); 및 상기 에어 흡입 박스(60) 일측 하방에 연결한 연결 흡기관(70);을 더 포함하여 구성하고, 상기 연결 흡기관(70)의 타단을 제2 회전축(34)의 둘레에 나사 결합하여 상기 제2 회전축(34)과 함께 회전되는 에어 흡입용 어댑터(80)의 일측과 연결시키되, 상기 에어 흡입용 어댑터(80)의 상부에 나사 결합한 중공 파이프(90)의 상단 에어 흡입구멍(91)과 연통시킨 캡(100)과 받침 부재 하우징(35)의 일측 상방에 설치한 소형 진공펌프(110)를 에어 흡입호스(120)로 연결하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송로봇.