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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0077892 (2018-07-04) | |
공개번호 | 10-2020-0004940 (2020-01-15) | |
등록번호 | 10-2584518-0000 (2023-09-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180077892 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예는 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 본체에 구비한 정전척 유닛을 개시한다.
기판과 마스크를 정전력으로 끌어당기는 정전척 본체와,상기 정전력을 발생시키도록 상기 정전척 본체에 구비된 다수의 배선들을 포함하며, 상기 배선들은 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 포함하며,상기 마스크에는 다수의 패턴홀들이 분포되고, 말단부에 단차가 있는 셀이 구비되며,상기 제2배선부는 상기 마스크의 단차가 있는 부위에 대응하도록 배치된 정전척 유닛.
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