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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0080107 (2018-07-10) | |
공개번호 | 10-2019-0141552 (2019-12-24) | |
등록번호 | 10-2526921-0000 (2023-04-25) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180068255 (2018-06-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180080107 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및 상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함할 수 있다.
개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스;상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함하고,상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 갖는 기판 지지 장치.
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