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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0095285 (2018-08-16) | |
공개번호 | 10-2018-0095480 (2018-08-27) | |
등록번호 | 10-1925758-0000 (2018-11-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180095285 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-08-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 절연막 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 2종의 물질을 포함하는 단일 전구체 소스를 사용하여 하나의 반응기 내에서 상기 2종의 물질 중 적어도 하나로 기판 상에 적어도 하나의 절연막을 형성하는 절연막 제조 방법을 제공한다.
하나의 반응기 내에서 단일 전구체 소스인 1,3-di-isopropyl-1,3,2-diazasilolidine를 사용하여, 기판 상에 조성이 상이한 제1 절연막과 제2 절연막을 적층 형성하는 방법으로,상기 제1 절연막과 제2 절연막은 SiOx(0.5≤x≤2.5)와 SixNy(0≤x≤1, 0.5≤y≤2.5) 중에서 선택된 1종이고,상기 제1 절연막과 제2 절연막은 하나의 반응기 내에서 증착 구간(zone)을 구분하여 진공이 단절되지 않은 상태에서 연속적으로 상기 전구체 소스를 사용하여 상이한 증착 조건으로 증착되며,상기 증착은 플라즈
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