초록 ▼

본 발명은 플라즈마 챔버에 고정밀 및 고속의 전력을 공급하기 위한 디지탈 전력전달장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 디지탈 전력전달장치는, 플라즈마 챔버에 전력을 공급하기 위하여 전력발생부와 디지털 전력정합부가 동축케이블에 의하여 연결되는 디지탈 전력전달장치에 있어서, 상기 전력발생부는, DSP제어기의 전력전달 알고리즘에 의하여 최적의 주파수가 생성되도록 제어하여 원하는 주파수 신호가 생성되는 디지털 주파수생성기와, 상기 디지털 주파수생성기에서 생성되는 주파수 신호 전력을 증폭하는 광대역 전력증폭기를 포함하며, 상기 디지털 전력

본 발명은 플라즈마 챔버에 고정밀 및 고속의 전력을 공급하기 위한 디지탈 전력전달장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 디지탈 전력전달장치는, 플라즈마 챔버에 전력을 공급하기 위하여 전력발생부와 디지털 전력정합부가 동축케이블에 의하여 연결되는 디지탈 전력전달장치에 있어서, 상기 전력발생부는, DSP제어기의 전력전달 알고리즘에 의하여 최적의 주파수가 생성되도록 제어하여 원하는 주파수 신호가 생성되는 디지털 주파수생성기와, 상기 디지털 주파수생성기에서 생성되는 주파수 신호 전력을 증폭하는 광대역 전력증폭기를 포함하며, 상기 디지털 전력정합부는, 상기 광대역 전력증폭기로부터 출력되는 주파수 신호 전력의 위상 및 크기를 검출하는 입력센서와, 상기 입력센서로부터 검출되는 주파수 신호 전력의 위상 및 크기로부터 고속의 디지털 전력제어부에 의하여 산출된 목표주파수와 목표 디지털 임피던스 값에 의하여 고속으로 임피던스를 변환하는 임피던스정합부를 구비한다.따라서, 본 발명에 따른 고속 및 초정밀의 전력전달장치는, 고정형 캐패시터에 의한 임피던스정합에 의하여 정밀 제어된 디지털 전력이 On-time에 고속으로 빠르게 전달할 수 있을 뿐만 아니라, 기계적인 요소를 제거함으로써 비용절감과 수명 연장을 통한 제품 신뢰성 확보 및 A/S 비용 절감이 가능한 효과가 있다.

대표청구항 ▼

플라즈마 챔버에 전력을 공급하기 위하여 전력발생부와 디지털 전력정합부가 동축케이블에 의하여 연결되는 디지탈 전력전달장치에 있어서, 상기 전력발생부는, DSP제어기의 전력전달 알고리즘에 의하여 최적의 주파수가 생성되도록 제어하여 원하는 주파수 신호가 생성되는 디지털 주파수생성기와, 상기 디지털 주파수생성기에서 생성되는 주파수 신호 전력을 증폭하는 광대역 전력증폭기를 포함하며,상기 디지털 전력정합부는, 상기 광대역 전력증폭기로부터 출력되는 주파수 신호 전력의 위상 및 크기를 검출하는 입력센서와, 상기 입력센서로부터 검출되는 주파수 신호

플라즈마 챔버에 전력을 공급하기 위하여 전력발생부와 디지털 전력정합부가 동축케이블에 의하여 연결되는 디지탈 전력전달장치에 있어서, 상기 전력발생부는, DSP제어기의 전력전달 알고리즘에 의하여 최적의 주파수가 생성되도록 제어하여 원하는 주파수 신호가 생성되는 디지털 주파수생성기와, 상기 디지털 주파수생성기에서 생성되는 주파수 신호 전력을 증폭하는 광대역 전력증폭기를 포함하며,상기 디지털 전력정합부는, 상기 광대역 전력증폭기로부터 출력되는 주파수 신호 전력의 위상 및 크기를 검출하는 입력센서와, 상기 입력센서로부터 검출되는 주파수 신호 전력의 위상 및 크기로부터 고속의 디지털 전력제어부에 의하여 산출된 목표주파수와 목표 디지털 임피던스 값에 의하여 고속으로 임피던스를 변환하는 임피던스정합부를 포함하며,상기 임피던스정합부는, 상기 입력센서에서 검출되는 주파수 신호 전력의 임피던스를 고속으로 스위칭 제어하기 위하여 상기 입력센서와 연결되는 RF 전송선로에 병렬로 연결되어 형성되는 임피던스조절부와, 상기 입력센서에는 직렬로 연결되고 상기 임피던스조절부에 병렬로 연결되어 임피던스를 정합하는 고정 임피던스정합부를 구비하며,상기 고정 임피던스정합부는, 상기 입력센서에 연결되는 RF 전송선로에 병렬로 연결되는 고정형 로드 캐패시터와, 상기 RF 전송선로에 직렬로 연결되고 상기 고정형 로드 캐패시터에 병렬로 연결되는 고정형 인덕터, 및 상기 고정형 인덕터에 직렬로 연결되는 고정형 캐패시터를 포함하며, 상기 임피던스조절부는, 상기 입력센서로 검출되는 주파수 신호 전력의 임피던스를 고속으로 스위칭 제어하기 위하여 RF 전송선로에 병렬로 연결되는 복수의 고정 RF 캐패시터와, 상기 복수의 고정 RF 캐패시터에 직렬로 연결되는 다수의 고출력 스위치부를 구비하며, 상기 고출력 스위치부는, 상기 고정형 RF 캐패시터에 고출력 핀 다이오드와 DC 리턴 통과용 인덕터가 상호 병렬로 연결되고, 상기고출력 핀 다이오드에는 DC 전원공급용 RF 초크인덕터와 DC 전원공급용 RF 단락 캐패시터가 직렬로 연결되며 이에 DC 차단 및 RF 단락 캐패시터가 상호 병렬로 연결되어 형성되며, 스위칭 드라이버가 상기 DC 전원공급용 RF 초크인덕터와 DC 전원공급용 RF 단락 캐패시터 사이에 연결되어 임피던스를 고속으로 미세하게 스위칭 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버에 고정밀 및 고속의 전력을 공급하기 위한 디지탈 전력전달장치.