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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0165200 (2019-12-12) | |
공개번호 | 10-2021-0052120 (2021-05-10) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020190135669 (2019-10-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190165200 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
일 실시 예에 따른 스퍼터링 장치는, 서로 이격되어 있는 복수 개의 기판 각각의 테두리부를 지지하는 댐 베이스와, 상기 복수 개의 기판 사이에 마련되고 상기 댐 베이스로부터 상방으로 돌출 형성되는 댐 돌출부를 포함하는 댐; 및 상기 댐에 대해 상대적으로 이동 가능하고, 상기 복수 개의 기판을 지지 가능한 승강핀을 포함할 수 있다.
서로 이격되어 있는 복수 개의 기판 각각의 테두리부를 지지하는 댐 베이스와, 상기 복수 개의 기판 사이에 마련되고 상기 댐 베이스로부터 상방으로 돌출 형성되는 댐 돌출부를 포함하는 댐; 및상기 댐에 대해 상대적으로 이동 가능하고, 상기 복수 개의 기판을 지지 가능한 승강핀을 포함하는 스퍼터링 장치.
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