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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0103891 (2018-08-31) | |
공개번호 | 10-2020-0025901 (2020-03-10) | |
등록번호 | 10-2093991-0000 (2020-03-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180103891 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-08-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전 플레이트를 구비한 정전척에 관한 것으로서, 상기 정전 플레이트는 유전체의 역할을 하는 고무 탄성체와 상기 고무 탄성체의 내부에 배치되어 전기장을 형성하는 전극 부재를 포함하고, 상기 고무 탄성체는 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어지고 외부에서 가해지는 압력의 증감에 의해 부풀거나 수축이 가능한 것을 특징으로 하는 고무 탄성체 다이아프램 타입 정전척을 개시한다.
평판 및 굴곡 형태의 피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전 플레이트를 구비한 정전척에 있어서, 상기 정전 플레이트는, 에어 홀이 형성되어 있는 금속 지지체와; 상기 금속 지지체의 표면에 액상 접합에 의해 성형 및 접합되는 고무 탄성체; 및 상기 고무 탄성체의 내부에 배치되어 전기장을 형성하는 전극 부재;를 포함하고, 상기 고무 탄성체는, 디메틸 실록산 결합을 기본으로 하여 이루어지고, 탄성계수가 20 ~ 80kgf/cm2이며, 상기 에어 홀을 통하여 상기 고무 탄성체에 에어를 공급하거나 제거하면, 상기 금속 지지체와 상
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