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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0106109 (2018-09-05) | |
공개번호 | 10-2020-0029655 (2020-03-19) | |
등록번호 | 10-2134123-0000 (2020-07-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180106109 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-09-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 3D프린터를 이용한 고밀도 플라즈마 정전척용 세라믹 플레이트의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 유전체, 전극층 및 하부 유전체를 각각 3D 프린터를 사용하여 인쇄한 후, 서로 접합되어 있는 상태에서 동시 소결함으로써, 고밀도의 변형없는 세라믹 플레이트를 제공할 수 있다.
Ⅰ) 3D 프린팅 공정을 통해 하부 유전체를 형성하는 단계;Ⅱ) 상기 하부 유전체의 상면에 3D 프린팅 공정을 통해 전극층을 형성하는 단계;Ⅲ) 상기 전극층 상면에, 3D 프린팅 공정을 통해 상부 유전체를 형성하여 성형체를 제조하는 단계; 및Ⅳ) 상기 Ⅲ) 단계에서 완성된 성형체를 동시소결하는 단계;를 포함하고,상기 Ⅰ) 또는 Ⅲ) 단계는, UV 3D 프린터에서 페이스트 조성물을 사용하여 하부 유전체와 상부 유전체를 각각 인쇄하고, UV 광원으로 경화하며,상기 페이스트 조성물은 Al2O3, SiO3, AIN, Al2O3, SiO3,
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