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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0179714 (2021-12-15) | |
공개번호 | 10-2023-0090718 (2023-06-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210179714 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 개시에 따른 정전척은 척 베이스; 및 상부 플레이트를 포함한다. 상기 상부 플레이트는 베이스부, 상기 베이스부에서 돌출하는 제1 컨택 패턴, 제2 컨택 패턴 및 외측 댐을 포함한다. 상기 외측 댐은 상기 제1 및 제2 컨택 패턴들을 둘러싼다. 상기 제2 컨택 패턴은 상기 제1 컨택 패턴보다 상기 외측 댐에 가깝게 배치된다. 상기 제2 컨택 패턴의 상면의 표면 조도는 상기 제1 컨택 패턴의 상면의 표면 조도보다 크다.
척 베이스; 및 상부 플레이트를 포함하고,상기 상부 플레이트는 베이스부, 상기 베이스부에서 돌출하는 제1 컨택 패턴, 제2 컨택 패턴 및 외측 댐을 포함하고,상기 외측 댐은 상기 제1 및 제2 컨택 패턴들을 둘러싸고,상기 제2 컨택 패턴은 상기 제1 컨택 패턴보다 상기 외측 댐에 가깝게 배치되고,상기 제2 컨택 패턴의 상면의 표면 조도는 상기 제1 컨택 패턴의 상면의 표면 조도보다 큰 정전척.
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